Válvula de vácuo de alto desempenho

Uma válvula de vácuo é um dispositivo montado em uma linha de suprimento ou exaustão de um sistema de vácuo. Geralmente é usada para isolar áreas de vácuo, como câmaras de processo, ou para controlar volumes de gás de entrada e saída. As válvulas de vácuo podem ser operadas manualmente, pneumaticamente, eletropneumaticamente, eletricamente ou eletromagneticamente. As válvulas de vácuo são parte integrante de qualquer sistema de vácuo e os sistemas de vácuo são usados ​​em uma ampla variedade de aplicações de produção industrial.

Certos processos de vácuo colocam demandas particularmente altas na pureza, bem como na estabilidade química e física do ambiente do processo. Isso se aplica, por exemplo, a quase todas as áreas de produção de semicondutores, bem como a muitas instalações de pesquisa onde sistemas de vácuo são usados. No campo da pesquisa elementar, a capacidade de lidar com condições extremas, como temperaturas muito altas ou baixas, radiação forte e vácuo extremamente alto (XHV) com pressões de até 10-15 mbar – os limites do que é atualmente tecnicamente viável e mensurável – são frequentemente adicionados a esses requisitos.

As válvulas de vácuo nessas aplicações diferem das válvulas de vácuo padrão nos seguintes aspectos:

Emissão de partículas minimizada

Válvulas de vácuo de alto desempenho são otimizadas para não liberar partículas através de seus materiais para alojamento, mecânica ou vedações por desgaseificação, nem através de seus movimentos de abertura e fechamento ou controle por fricção. Isso é obtido pela seleção e tratamento especial dos materiais usados, e por certos detalhes de projeto que minimizam ou, em alguns casos, eliminam completamente a liberação de partículas.

Pulsos de movimento minimizados

Cada válvula gera pulsos de movimento por meio de seus movimentos de abertura e fechamento. No caso de válvulas acionadas automaticamente, estes podem variar de leves vibrações a impactos fortes audíveis e perceptíveis. Estes pulsos de movimento podem ter um impacto negativo em processos de fabricação sensíveis, por exemplo, por meio de liberação adicional de partículas. Além das características de design, as válvulas de vácuo de alto desempenho minimizam estes impulsos principalmente controlando o movimento nos chamados perfis de movimento. Semelhante à maneira como os elevadores de passageiros operam, a velocidade de fechamento é desacelerada pouco antes do ponto de fechamento ser atingido para evitar "impactos". Estes perfis de movimento geralmente podem ser modificados para que, por exemplo, possam ser adaptados às condições desejadas em termos de tempo de fechamento e frequência de fechamento.

Comportamento Químico e Físico Neutro

As válvulas de vácuo sempre alteram a homogeneidade de uma câmara de processo de vácuo, em qualquer forma. Isso ocorre, em parte, como resultado de sua geometria. Estreitar ou alargar o caminho do fluxo pode alterar a resistência e a velocidade do fluxo, ou espaços mortos, como espaços de deslocamento para placa de válvula, podem promover processos de deposição. Isso também ocorre por meio do movimento de abertura e fechamento, que altera o comportamento do fluxo, bem como a concentração, distribuição, mistura e temperatura dos gases do processo. As válvulas de vácuo de alto desempenho são otimizadas para compensar tais influências sempre que possível ou para torná-las controláveis. Para esse fim, uma variedade de técnicas adicionais são incorporadas aos projetos que vão muito além das funções básicas da válvula, como abertura e fechamento ou controle.

Comportamento precisamente reproduzível

Válvulas de vácuo de alto desempenho diferem das soluções padrão principalmente em seu comportamento altamente reprodutível. Isso significa que, enquanto as soluções padrão exibem flutuações em cada movimento individual de abertura e fechamento e mostram desvios de seus valores de desempenho definidos ao longo do período de uso, as válvulas de vácuo de alto desempenho são otimizadas para sempre exibir o mesmo comportamento, definido dentro de limites muito estreitos, em longos intervalos de uso. Isso significa que elas estabilizam os processos de vácuo e minimizam a complexidade do controle do processo.

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